5SGY3545L0017 绝缘栅双极型晶体管 其特点是通过强碱湿法刻蚀工艺形成了V形槽栅

IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor),绝缘栅双极型晶体管，是由BJT (双极型三极管)和MOS (绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件，兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点。GTR饱和压降低，载流密度大,但驱动电流较大;MOSFET驱动功率很小，开关速度快,但导通压降大，载流密度小。IGBT综合了以上两种器件的优点，驱动功率小而饱和压降低。1979年，MOS栅功率开关器件作为IGBT概念的先驱即已被介绍到世间。这种器件表现为-一个类晶闸管的结构(P-N-P-N四层组成)，其特点是通过强碱湿法刻蚀工艺形成了V形槽栅。
80年代初期，用于功率MOSFET制造技术的DMOS(双扩散形成的金属-氧化物-半导体)工艺被采用到IGBT中来。[2]在那个时候，硅芯片的结构是一种较厚的NPT(非穿通)型设计。后来,通过采用PT(穿通)型结构的方法得到了在参数折衷方面的一个显著改进，这是随着硅片上外延的技术进步,以及采用对应给定阻断电压所设计的n+缓冲层而进展的[3]。几年当中,这种在采用PT设计的外延片上制备的DMOS平面栅结构,其设计规则从5微米先进到3微米。

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